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機能性フィルム事業
大面積モールド Large Area Mold
干渉リソグラフィによる大面積化が可能です。R&D用モールドのモスアイ・マイクロレンズ・配光拡散構造を最大42インチの大面積化が可能です。
また、光学設計に基づいた構造やお客様のご希望の構造などのカスタマイズ構造の大面積化も承っております。
仕様
- マスター材料
- フォトレジスト
- 構造サイズ
- 200nm～1mm
- 構造の高さ
- 100nm～100μm
- 面積
- 最大760mm x 570mm
※構造によって最大サイズは異なります。 - 材料
- ニッケル
光学設計技術 Optical Design Technology
イノックスは、欧州の光学設計専門家や国内トップクラスの大学との提携により、コンセプトデザインや試作・評価の設計ソリューションをご提供します。
ナノ・マイクロ金型技術 Micro-Nano Moulding Technology
特殊マスクを用いた方法によって、8インチサイズにて高繊細なライン＆スペース構造のモールドを作製可能です。E-beamによるカスタマイズ構造も作製可能です。
ライン＆スペース(Line and Space)
最小ピッチ：100nm、パターンエリア：Φ8インチ、材質：Si
UVナノインプリント石英金型(UV Nanoimprint Quartz Template)
最小ピッチ：30nm、材質：石英、厚み : 1mm～6.35mm
Si金型 (Silicon Template)
最小ピッチ：20nm、材質：Si
開発 Development
- 小型モールドの繋ぎ合わせ
- 繋ぎ合わせ技術により、小型モールドの大面積化を行います。
※繋ぎ合わせ精度等の詳細はお問合せ下さい。 - 特殊電鋳複写
- マスターモールドの破壊を防ぎ金型を複写することが可能です。
- ソフトモールド
- 樹脂を使用したモールドも扱っております。
