スタンダードモスアイ金型解説その3

スタンダードモスアイ金型解説その1
スタンダードモスアイ金型解説その2 

間隔が開いてしまいましたが、今回はスタンダードモスアイ金型の個数についてです。

     

スタンダードモスアイ金型のHT-AR-05Aでは、ピッチ250nm、ピーク間距離290nmでハニカム構造の配列を取っています。この場合の一つの六角形の面積は0.0725µ㎡と計算することができます。

○1mm角の正方形に敷き詰めたとすると…
13,793,103個(約1,380万個)= 東京都の人口(1,322万人)とほぼ同じ

○1cm角の正方形に敷き詰めたとすると…
1,379,310,300個(13.8億個)= 日本の総人口(1.3億人)の10倍

○スタンダード金型HT-AR-05A(10cm x 10cm)上にあるモスアイ構造の数は…
137,931,030,000個(1,380億個)= 人間の脳のニューロンの推定数(1,000億個)よりも多い

有効範囲が280mm角のHT-AR-05Cまで行くと1兆個を超える計算になります。
干渉リソグラフィ工法にでは、この様な膨大な個数のモスアイ構造を一括にかつ均一に描画できるのが大きな特徴です。

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