スタンダードモスアイ金型解説その2

スタンダードモスアイ金型解説その1
モスアイ金型のスペックの解説第二弾です。


上の表は前回同様の『HT-AR-05シリーズ』のスペック表です。
その中にピッチとピーク間距離の項目がありますが、今回はこれらの解説です。


干渉リソグラフィーの干渉波では、線上の構造しか描画できません。しかし、二重露光を行うことによってモスアイ構造を作り出すことができます。上の図で緑色の点線は干渉波によって描かれる線を示しています。図では、平行な点線が2種類あり互いに交差しているかと思います。

一方の平行な線が一回目で露光され、二回目の露光で交差する平行な線が露光されます。この二つの組み合わせでモスアイ構造のような凹凸が描画される仕組みです。

『HT-AR-05シリーズ』では、この平行な線の間隔のことをピッチと呼んでいます。また、モスアイ構造の最短の間隔をピーク間距離と呼んでいます。

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