スタンダードモスアイ金型解説その1

先日リリースしました『HT-AR-05シリーズ』などの弊社で取り扱っているモスアイ金型のスペックについて解説します。
【新製品情報】スタンダードモスアイ金型

上の表は『HT-AR-05シリーズ』のスペック表です。
配列は六角形ハニカム配列と表記していますが、下図の様な配列になっています。

干渉リソグラフィーの二重露光によって作り出されているモスアイ構造ですが、その配列は平面最密充填である六角形ハニカム配列を取ります。
配列の間隔などによってモスアイ構造同士の間隔が決定されます。どの様に関わってくるかは、次回解説する予定です。

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